Methode und Apparat Fur Optische Messungen von Schichten und Oberflacheneigenschaften
EP1212580
Art B1
3. April 2013
Anmelder: MKS Instruments, Inc., MKS INSTRUMENTS, INC., ON-LINE TECHNOLOGIES, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1212580
- Aktenzeichen
- EP00966730
- Anmeldetag
- 15. September 2000
- Veröffentlichung
- 3. April 2013
- Erteilung
- 3. April 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B9/02G01B11/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS Instruments, Inc.
MKS INSTRUMENTS, INC.
ON-LINE TECHNOLOGIES, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Jackson, Derek Charles
Claines, Großbritannien
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