System zur Messung der Elektronendichte und Plasma-Prozesssteuerung, das Änderungen in der Resonanzfrequenz eines Plasma Enthaltenden Offen Resonators Verwendet

EP1212611 Art B1 11. Juli 2007

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1212611
Aktenzeichen: EP00975171
Anmeldetag: 20. Juli 2000
Veröffentlichung: 11. Juli 2007
Erteilung: 11. Juli 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G01N27/62H01J37/32H05H1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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