System zur Steuerung eines Plasmagenerators

EP1212692 Art B1 9. September 2015

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1212692
Aktenzeichen
EP00948742
Anmeldetag
20. Juli 2000
Veröffentlichung
9. September 2015
Erteilung
9. September 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
TOKYO ELECTRON LIMITED
Tokyo Electron Limited
Land
🇯🇵 Japan

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Klusmann, Peter, Dr München, Deutschland
50
Patente gesamt
21
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Medizintechnik & Gesundheit Kunststoff- & Polymertechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Papier- & Zellstofftechnik Elektronik & Schaltungstechnik
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