System und Methode zur Herstellung Dünner Ein- Bzw. Polykristalliner Siliziumfilme bei Niedrigen Temperaturen durch Sequentielle Laterale Rekristallisation

EP1212783 Art A1 12. Juni 2002

Anmelder: The Trustees of Columbia University in the City of New York, THE TRUSTEES OF COLUMBIA UNIVERSITY IN THE CITY OF NEW YORK 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1212783
Aktenzeichen
EP00959541
Anmeldetag
29. August 2000
Veröffentlichung
12. Juni 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/20H01L21/36H01L31/036
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
The Trustees of Columbia University in the City of New York
THE TRUSTEES OF COLUMBIA UNIVERSITY IN THE CITY OF NEW YORK
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Columbia University

Private Forschungsuniversität in New York City, gegründet 1754, mit umfangreicher Patentaktivität in Medizin, Biotechnologie und Ingenieurwissenschaften.

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