Verfahren zur Herstellung von mikromechanischen und mikrooptomechanischen Strukturen mit Freilegen von einkristallinem Silizium
EP1213259
Art B1
23. Mai 2007
Anmelder: MICROSCAN SYSTEMS INCORPORATED, Xerox Corporation, XEROX CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1213259
- Aktenzeichen
- EP01128161
- Anmeldetag
- 27. November 2001
- Veröffentlichung
- 23. Mai 2007
- Erteilung
- 23. Mai 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81B3/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MICROSCAN SYSTEMS INCORPORATED
Xerox Corporation
XEROX CORPORATION - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Xerox
US-amerikanischer Technologiekonzern, der Drucker, Kopierer, Multifunktionsgeräte sowie Dokumentenmanagement- und Druckdienstleistungen für Unternehmen anbietet.
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