Verfahren und Vorrichtung zur In-situ-Dekontamination eines EUV-Lithographiegerätes
EP1213617
Art A1
12. Juni 2002
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Carl Zeiss, Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1213617
- Aktenzeichen
- EP01128887
- Anmeldetag
- 5. Dezember 2001
- Veröffentlichung
- 12. Juni 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss
Carl-Zeiss-Stiftung trading as Carl Zeiss - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Werner, Anne-Estelle
Münster, Deutschland
19
Patente gesamt
13
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Fuchs Mehler Weiss & Fritzsche
Fuchs Mehler Weiss & Fritzsche · Wiesbaden