Prädiktive Regelung eines Generatorausgangs
EP1213635
Art A3
29. November 2006
Anmelder: MKS Instruments, Inc., Eni Technology, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1213635
- Aktenzeichen
- EP01124179
- Anmeldetag
- 11. Oktober 2001
- Veröffentlichung
- 29. November 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05B21/02G05B19/406G05B19/19
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS Instruments, Inc.
Eni Technology, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
425 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Neumann, Ernst Dieter
Köln, Deutschland
161
Patente gesamt
23
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Neumann, Ernst Dieter, Dipl.-Ing
NoneSiegburg