Ionenimplantierungs-Vorrichtungen und -Verfahren

EP1213744 Art B1 18. Februar 2009

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1213744
Aktenzeichen
EP01310200
Anmeldetag
5. Dezember 2001
Veröffentlichung
18. Februar 2009
Erteilung
18. Februar 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/317H01L21/266
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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