Ionenimplantierungs-Vorrichtungen und -Verfahren
EP1213744
Art B1
18. Februar 2009
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1213744
- Aktenzeichen
- EP01310200
- Anmeldetag
- 5. Dezember 2001
- Veröffentlichung
- 18. Februar 2009
- Erteilung
- 18. Februar 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/317H01L21/266
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
444 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Albutt, Anthony John
London, Großbritannien
1.129
Patente gesamt
31
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Robinson, Nigel Alexander Julian
NoneSouthampton
-
Pilch, Adam John Michael
NoneLondon