Trägerloses Polierband zum Chemisch-Mechanischen Polieren
EP1214175
Art B1
5. Januar 2005
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION, Praxair S.T. Technology, Inc., Peripheral Products Inc 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1214175
- Aktenzeichen
- EP00959821
- Anmeldetag
- 31. August 2000
- Veröffentlichung
- 5. Januar 2005
- Erteilung
- 5. Januar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24D11/00B24D18/00B24B37/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- LAM RESEARCH CORPORATION
Praxair S.T. Technology, Inc.
Peripheral Products Inc - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Vertreten von
Viering, Hans-Martin
München, Deutschland
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