Extrem-Ultraviolett Weiche-Roentchenstrahlungen Lithographisches Projektionsverfahren- und Vorrichtung und Lithographische Elemente

EP1214718 Art A1 19. Juni 2002

Anmelder: Corning Incorporated, CORNING INCORPORATED 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1214718
Aktenzeichen
EP00948609
Anmeldetag
10. Juli 2000
Veröffentlichung
19. Juni 2002
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G21K5/00C23C14/02C23C28/00G03F1/00G21K1/06G02B5/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Corning Incorporated
CORNING INCORPORATED
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Corning

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Corning, New York. Corning ist spezialisiert auf Spezialglas, Keramik und optische Fasern für Displays, Telekommunikation, Automobiltechnik, Life Sciences und Umwelttechnik.

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