Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines III-V-Nitridfilms

EP1215308 Art B1 16. Juni 2010

Anmelder: NGK Insulators, Ltd., NGK INSULATORS, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1215308
Aktenzeichen
EP01129551
Anmeldetag
11. Dezember 2001
Veröffentlichung
16. Juni 2010
Erteilung
16. Juni 2010
Rechtsraum
EP
IPC
C30B25/02C30B29/40H01L21/205C23C16/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NGK Insulators, Ltd.
NGK INSULATORS, LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 NGK Insulators

Japanisches Industrieunternehmen mit Sitz in Nagoya. NGK Insulators fertigt Keramikprodukte, darunter Isolatoren, Abgaskatalysatorträger, Sensoren und Energiespeichersysteme für Energieversorgung, Automobil und Industrie.

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