Schieber und Vakuumbehandlungsvorrichtung mit dem Schieber

EP1215430 Art A1 19. Juni 2002

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1215430
Aktenzeichen: EP00935521
Anmeldetag: 1. Juni 2000
Veröffentlichung: 19. Juni 2002
Rechtsraum: EP
IPC: F16K41/10F16K3/02F16K51/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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