Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung der Luft Üben einem Rotierendem Substrat

EP1216107 Art A1 26. Juni 2002

Anmelder: Micron Technology, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1216107
Aktenzeichen: EP00959532
Anmeldetag: 28. August 2000
Veröffentlichung: 26. Juni 2002
Rechtsraum: EP
IPC: B05C13/02B05D5/00G03F7/16H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Micron Technology, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Micron Technology

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Boise, Idaho. Micron entwickelt und fertigt Speicherchips wie DRAM und NAND-Flash sowie Speicherlösungen für Computer, Mobilgeräte, Rechenzentren und Automobile.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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