Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung von Mikroelektronischer Merkmalsqualität
EP1216412
Art A1
26. Juni 2002
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION, Verity Instruments, Inc., LAM Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1216412
- Aktenzeichen
- EP00967157
- Anmeldetag
- 29. September 2000
- Veröffentlichung
- 26. Juni 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/95G01B11/30H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- LAM RESEARCH CORPORATION
Verity Instruments, Inc.
LAM Research Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Walker, Ross Thomson
Forresters IP LLP · München
-
Thomson, Paul Anthony
NoneBirkenhead