Lithographieobjektiv mit einer ersten Linsengruppe, bestehend ausschliesslich aus Linsen positiver Brechkraft und Verfahren zur Herstellung mikrostrukturierter Bauteile mit einem solchen Objektiv

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP1217412

Aktenzeichen

EP01128878

Anmeldetag

5. Dezember 2001

Veröffentlichung

8. März 2006

Erteilung

8. März 2006

Rechtsraum

EP

IPC

G02B13/14G02B13/24G03F7/20

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen

Carl Zeiss SMT AG
Carl Zeiss

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete