Verfahren zur Kontrollierung von Zwischenoxyd bei einer monokristallinischen/polykristallinischen Silizium-Zwischenschicht

EP1217652 Art B1 24. September 2003

Anmelder: STMicroelectronics Srl, STMicroelectronics S.r.l. 🇮🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1217652
Aktenzeichen
EP00830834
Anmeldetag
20. Dezember 2000
Veröffentlichung
24. September 2003
Erteilung
24. September 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/331H01L29/73
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
STMicroelectronics Srl
STMicroelectronics S.r.l.
Land
🇮🇹 Italien
🇮🇹 STMicroelectronics Italy

Italienische Konzerngesellschaft des schweizerisch-französischen Halbleiterherstellers STMicroelectronics. Entwickelt und fertigt Halbleiterkomponenten für Automobil-, Industrie- und Konsumelektronik.

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