Transportmodul mit Türverriegelung
EP1218264
Art A1
3. Juli 2002
Anmelder: Entegris, Inc., FLUOROWARE, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1218264
- Aktenzeichen
- EP00950296
- Anmeldetag
- 6. Juli 2000
- Veröffentlichung
- 3. Juli 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
FLUOROWARE, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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