Poliersystem mit Stopmittel und Verfahren zu Seiner Verwendung
EP1218465
Art B1
30. März 2005
Anmelder: Cabot Microelectronics Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1218465
- Aktenzeichen
- EP00952726
- Anmeldetag
- 10. August 2000
- Veröffentlichung
- 30. März 2005
- Erteilung
- 30. März 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C09G1/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Cabot Microelectronics Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Cabot Microelectronics
Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.
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Fachgebiete
Vertreten von
Trueman, Lucy Petra
Birmingham, Großbritannien
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14
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