Kapazitiver Druckwandler

EP1218713 Art B1 15. November 2006

Anmelder: MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1218713
Aktenzeichen
EP00965511
Anmeldetag
28. September 2000
Veröffentlichung
15. November 2006
Erteilung
15. November 2006
Rechtsraum
EP
IPC
G01L9/12
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
MKS INSTRUMENTS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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