Kapazitiver Druckwandler

EP1218715 Art B1 7. November 2012

Anmelder: MKS Instruments, Inc., MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1218715
Aktenzeichen
EP00967036
Anmeldetag
28. September 2000
Veröffentlichung
7. November 2012
Erteilung
7. November 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G01L9/00G01L19/04
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
MKS Instruments, Inc.
MKS INSTRUMENTS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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