Elektronendichtemessungs- und Regelungssystem unter Anwendung von Plasmainduzierten Frequenzveränderungen eines Mikrowellenoszillators

EP1218763 Art A1 3. Juli 2002

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1218763
Aktenzeichen: EP00947493
Anmeldetag: 20. Juli 2000
Veröffentlichung: 3. Juli 2002
Rechtsraum: EP
IPC: G01R27/04G01R19/00H01J37/32H05H1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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