Extrem-Ultraviolett Weiche Röntgenstrahlungen Lithographisches Projektionsverfahren und Masken
EP1218796
Art A1
3. Juli 2002
Anmelder: Corning Incorporated 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1218796
- Aktenzeichen
- EP00945368
- Anmeldetag
- 13. Juli 2000
- Veröffentlichung
- 3. Juli 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G21K5/00C23C14/02C23C28/00G03F1/00G21K1/06G02B5/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Corning Incorporated
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Corning
US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Corning, New York. Corning ist spezialisiert auf Spezialglas, Keramik und optische Fasern für Displays, Telekommunikation, Automobiltechnik, Life Sciences und Umwelttechnik.
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Vertreten von
Greene, Simon Kenneth
Sevenoaks, Großbritannien
2.080
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22
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