Strahlenzuführungsvorrichtung mit Hoher Transmission und Niedriger Energie für Ionenimplantierungsgerät
EP1218917
Art B1
24. November 2004
Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1218917
- Aktenzeichen
- EP00963583
- Anmeldetag
- 18. September 2000
- Veröffentlichung
- 24. November 2004
- Erteilung
- 24. November 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.
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Beck, Simon Antony
London, Großbritannien
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