Impedanzmessungsschaltkreis, -Detektor und Verfahren zur Impedanzmessung

EP1219967 Art B1 25. Juli 2007

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Hokuto Electronics, Inc., Tokyo Electron Limited, SUMITOMO METAL INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1219967
Aktenzeichen
EP01912131
Anmeldetag
7. März 2001
Veröffentlichung
25. Juli 2007
Erteilung
25. Juli 2007
Rechtsraum
EP
IPC
G01R27/02G01R27/26G01D5/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
TOKYO ELECTRON LIMITED
Hokuto Electronics, Inc.
Tokyo Electron Limited
SUMITOMO METAL INDUSTRIES, LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.254 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Sumitomo Metal Industries

Sumitomo Metal Industries war ein japanischer Stahl- und Metallkonzern, der 2012 mit Nippon Steel fusionierte. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik, ergänzt durch Maschinenelemente und Fluidtechnik. Die Anmeldungen stammen überwiegend aus dem Zeitraum 2000 bis 2012.

650 Patente in unserer Datenbank

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