Impedanzmessungsschaltkreis, -Detektor und Verfahren zur Impedanzmessung
EP1219967
Art B1
25. Juli 2007
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Hokuto Electronics, Inc., Tokyo Electron Limited, SUMITOMO METAL INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1219967
- Aktenzeichen
- EP01912131
- Anmeldetag
- 7. März 2001
- Veröffentlichung
- 25. Juli 2007
- Erteilung
- 25. Juli 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01R27/02G01R27/26G01D5/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO ELECTRON LIMITED
Hokuto Electronics, Inc.
Tokyo Electron Limited
SUMITOMO METAL INDUSTRIES, LTD. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Balsters, Robert
Onex, Schweiz
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