Belichtungsapparat und Verfahren zur Herstellung eines Belichtungsapparates

EP1220037 Art A3 1. Februar 2006

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1220037
Aktenzeichen: EP01131026
Anmeldetag: 28. Dezember 2001
Veröffentlichung: 1. Februar 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20B23P21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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