Keramische Heizung für Apparate für die Halbleiterverarbeitung und das Testen von Halbleiteranordnungen
EP1220302
Art A1
3. Juli 2002
Anmelder: IBIDEN CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1220302
- Aktenzeichen
- EP01945782
- Anmeldetag
- 3. Juli 2001
- Veröffentlichung
- 3. Juli 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/68H05B3/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- IBIDEN CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ibiden
Ibiden ist ein japanischer Hersteller elektronischer Materialien mit Sitz in Ogaki, spezialisiert auf IC-Substrate für Halbleiter sowie Keramikprodukte für die Automobil- und Elektronikindustrie.
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Vertreten von
Gillard, Marie-Louise
Paris, Frankreich
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