Methode und Apparat für die Strahlungsunterstützte Elektrochemische Ätzung und Geätztes Produkt
EP1220307
Art A1
3. Juli 2002
Anmelder: MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1220307
- Aktenzeichen
- EP00929846
- Anmeldetag
- 24. Mai 2000
- Veröffentlichung
- 3. Juli 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3063C25F3/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Mitsubishi Electric
Japanisches Unternehmen, das Elektro- und Elektroniktechnik entwickelt und herstellt, darunter Automatisierung, Energie-, Klima- und Fahrzeugtechnik.
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Vertreten von
Popp, Eugen
München, Deutschland
1.363
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