Feststellung der Strahlausrichtung in der Ionenimplantierung mittels Rutherford-Rückstreuung
EP1221172
Art A1
10. Juli 2002
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1221172
- Aktenzeichen
- EP00969674
- Anmeldetag
- 13. Oktober 2000
- Veröffentlichung
- 10. Juli 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/304H01J37/317H01J37/147
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Cross, Rupert Edward Blount
London, Großbritannien
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