Verfahren und Gerät zum Ätzen und Beschichten mittels Mikroplasmen
EP1221174
Art A1
10. Juli 2002
Anmelder: WISCONSIN ALUMNI RESEARCH FOUNDATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1221174
- Aktenzeichen
- EP00973456
- Anmeldetag
- 11. Oktober 2000
- Veröffentlichung
- 10. Juli 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- WISCONSIN ALUMNI RESEARCH FOUNDATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Wisconsin Alumni Research Foundation
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Price, Nigel John King
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