Magnetronzerstäubungssystem und Verfahren zur Herstellung einer Maskenrohling mittels des Systems
EP1221495
Art B1
19. Oktober 2005
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1221495
- Aktenzeichen
- EP01310413
- Anmeldetag
- 13. Dezember 2001
- Veröffentlichung
- 19. Oktober 2005
- Erteilung
- 19. Oktober 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/35H01J37/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
4.655 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Parlett, Peter Michael
Bremen, Deutschland
69
Patente gesamt
17
Fachgebiete
8
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Schwerpunkte