Erzeugung eines Dichten Nebels von Mikrometrischen Tröpfchen insbesondere für die Euv- Lithographie
EP1222842
Art B1
2. April 2003
Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1222842
- Aktenzeichen
- EP00968058
- Anmeldetag
- 17. Oktober 2000
- Veröffentlichung
- 2. April 2003
- Erteilung
- 2. April 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05G2/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
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Fachgebiete
Vertreten von
Weber, Etienne Nicolas
Fragnes, Frankreich
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