Vorrichtung zur Aufnahme eines optischen Elementes aus einem kristallinen Material während eines Aufdampfprozesses
EP1223231
Art B1
11. Februar 2004
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1223231
- Aktenzeichen
- EP01129044
- Anmeldetag
- 7. Dezember 2001
- Veröffentlichung
- 11. Februar 2004
- Erteilung
- 11. Februar 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/50C23C14/54
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Lorenz, Werner
Heidenheim, Deutschland
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