Polirmittel für Cmp und Poliermethode

EP1223609 Art A1 17. Juli 2002

Anmelder: Hitachi Chemical Company, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1223609
Aktenzeichen
EP00955039
Anmeldetag
25. August 2000
Veröffentlichung
17. Juli 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/321C11D11/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi Chemical Company, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi Chemical

Ehemaliges japanisches Chemieunternehmen, das Materialien für Halbleiter, Batterien und Verbundwerkstoffe herstellte. Ging nach mehreren Umfirmierungen im Konzern Resonac auf.

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