Verfahren und Vorrichtung zur Entfernung des Verschiebestroms aus Strommessungen in einem Plasmabehandlungssystem
EP1224684
Art B1
15. November 2006
Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1224684
- Aktenzeichen
- EP00965188
- Anmeldetag
- 20. September 2000
- Veröffentlichung
- 15. November 2006
- Erteilung
- 15. November 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32G01R19/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.
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Vertreten von
Beck, Simon Antony
London, Großbritannien
871
Patente gesamt
31
Fachgebiete
19
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Schwerpunkte