Leistungspulsanordnung mit Hoher Pulsrate, Kurzer Anstiegszeit und Niedrigem Leckstrom

EP1224717 Art B1 4. Mai 2005

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1224717
Aktenzeichen
EP00953674
Anmeldetag
25. Juli 2000
Veröffentlichung
4. Mai 2005
Erteilung
4. Mai 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01S3/00H03K3/57H03K17/80H01S3/097
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Cymer, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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