Verfahren zur Herstellung einer dielektrischen Zwischenschicht unter Verwendung von Organosilikon-Vorläufern

EP1225194 Art B2 18. September 2013

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1225194
Aktenzeichen
EP02001014
Anmeldetag
17. Januar 2002
Veröffentlichung
18. September 2013
Erteilung
18. September 2013
Rechtsraum
EP
IPC
C08G77/04C23C16/40H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Hatt, Anna Louise London, Großbritannien
113
Patente gesamt
24
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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