Aktive Elektrostatische Dichtung und Elektrostatische Vakuumpumpe
EP1226359
Art B1
6. Oktober 2004
Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1226359
- Aktenzeichen
- EP00976805
- Anmeldetag
- 1. November 2000
- Veröffentlichung
- 6. Oktober 2004
- Erteilung
- 6. Oktober 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04B43/04F04B43/09
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.
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Vertreten von
Beck, Simon Antony
London, Großbritannien
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