Elektrostatische Waferklemmvorrichtung mit einer Elektrostatischen Gasabdichtung
EP1226605
Art A1
31. Juli 2002
Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1226605
- Aktenzeichen
- EP00978321
- Anmeldetag
- 1. November 2000
- Veröffentlichung
- 31. Juli 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/68
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.
690 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Beck, Simon Antony
London, Großbritannien
871
Patente gesamt
31
Fachgebiete
19
Anmelder-Länder
Schwerpunkte