Einkammer-Gasentladungs-Laser mit Kernstrahl mit Verringerter Bandbreite

EP1226634 Art A1 31. Juli 2002

Anmelder: Cymer, Inc., Partlo, William N., Pan, Xiaojiang, Onkels, Eckehard D. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1226634
Aktenzeichen: EP00990902
Anmeldetag: 10. Oktober 2000
Veröffentlichung: 31. Juli 2002
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/03H01S3/07H01S3/23

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Cymer, Inc.
Partlo, William N.
Pan, Xiaojiang
Onkels, Eckehard D.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von