Silikonscheibe, Silizium-Epitaktische Scheibe und Herstellungsverfahren dafür

EP1229155 Art A1 7. August 2002

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1229155
Aktenzeichen
EP01919881
Anmeldetag
10. April 2001
Veröffentlichung
7. August 2002
Rechtsraum
EP
IPC
C30B29/06H01L21/20H01L21/205H01L21/322
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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