Lichtempfindliche Zusammensetzung, sowie ein Entsprechendes Lichtempfindliches Element; Verfahren zur Erzeugung eines Resistmusters; ein Resistmuster, sowie ein Substrat auf das das Muster Auflaminiert Ist.

EP1229389 Art A1 7. August 2002

Anmelder: Hitachi Chemical Company, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1229389
Aktenzeichen
EP00969991
Anmeldetag
23. Oktober 2000
Veröffentlichung
7. August 2002
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/004C08L61/34C08L61/28C08L101/12G03F7/038G03F7/027C08K5/00C08K3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi Chemical Company, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi Chemical

Ehemaliges japanisches Chemieunternehmen, das Materialien für Halbleiter, Batterien und Verbundwerkstoffe herstellte. Ging nach mehreren Umfirmierungen im Konzern Resonac auf.

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