Lichtempfindliche Zusammensetzung, sowie ein Entsprechendes Lichtempfindliches Element; Verfahren zur Erzeugung eines Resistmusters; ein Resistmuster, sowie ein Substrat auf das das Muster Auflaminiert Ist.
EP1229389
Art A1
7. August 2002
Anmelder: Hitachi Chemical Company, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1229389
- Aktenzeichen
- EP00969991
- Anmeldetag
- 23. Oktober 2000
- Veröffentlichung
- 7. August 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/004C08L61/34C08L61/28C08L101/12G03F7/038G03F7/027C08K5/00C08K3/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi Chemical Company, Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi Chemical
Ehemaliges japanisches Chemieunternehmen, das Materialien für Halbleiter, Batterien und Verbundwerkstoffe herstellte. Ging nach mehreren Umfirmierungen im Konzern Resonac auf.
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Fachgebiete
Vertreten von
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Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München