Elektrochemische Reduktion von Kupferkeimschichten zur Reduzierung von Leerstellen in einer elektrochemischen Abscheidung

EP1229580 Art A3 26. März 2003

Anmelder: Texas Instruments Incorporated 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1229580
Aktenzeichen
EP02100088
Anmeldetag
30. Januar 2002
Veröffentlichung
26. März 2003
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Texas Instruments Incorporated
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Texas Instruments

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Dallas (Texas). Entwickelt und fertigt analoge und eingebettete Halbleiterprodukte, Prozessoren sowie Schaltkreise für Industrie, Automobil- und Konsumelektronik.

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