Reduzierung der Abgase von Cvd-Prozessenunter Verwendung von Ligand-Austausch-Resistenten Metall-Organischen Vorläuferlösungen
Anmelder: Applied Materials, Inc., ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1230420
- Aktenzeichen
- EP00984541
- Anmeldetag
- 18. Oktober 2000
- Veröffentlichung
- 14. August 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/40C23C16/56
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.790 Patente in unserer Datenbank
Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
458 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
- (deleted)
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Schüssler, Andrea
Kanzlei Huber & Schüssler · München