Verfahren und Gerät zur Steuerung eines Plasmavolumens
EP1230667
Art B1
7. Januar 2009
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION, LAM Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1230667
- Aktenzeichen
- EP00991021
- Anmeldetag
- 14. November 2000
- Veröffentlichung
- 7. Januar 2009
- Erteilung
- 7. Januar 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- LAM RESEARCH CORPORATION
LAM Research Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
Browne, Robin Forsythe
Leeds, Großbritannien
1.734
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