Verfahren zur Erzeugung einer Extrem-Ultraviolett-Strahlungsquelle und deren Anwendung in der Lithographie
EP1230828
Art B1
3. November 2004
Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1230828
- Aktenzeichen
- EP00979727
- Anmeldetag
- 14. November 2000
- Veröffentlichung
- 3. November 2004
- Erteilung
- 3. November 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05G2/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
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Fachgebiete
Vertreten von
Weber, Etienne Nicolas
Fragnes, Frankreich
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