Verfahren zur Regelung von Sputterprozessen
EP1232293
Art B1
14. Mai 2003
Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1232293
- Aktenzeichen
- EP00977458
- Anmeldetag
- 2. November 2000
- Veröffentlichung
- 14. Mai 2003
- Erteilung
- 14. Mai 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Fraunhofer-Gesellschaft
Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.
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Gleiter, Hermann
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