Verfahren und Vorrichtung zum Rastern,fügen und Dämpfen von Messungen eines Doppelseitigen Prüfmessgeräts
EP1232384
Art A1
21. August 2002
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1232384
- Aktenzeichen
- EP00942900
- Anmeldetag
- 16. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 21. August 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Parkinson, Neil Scott
Basingstoke, Großbritannien
327
Patente gesamt
26
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Allman, Peter John
NoneManchester