Stabilisierte Oszillatorschaltung zur Messung der Plasmadichte

EP1232513 Art B1 1. September 2010

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1232513
Aktenzeichen: EP00948743
Anmeldetag: 20. Juli 2000
Veröffentlichung: 1. September 2010
Erteilung: 1. September 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H05H1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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