Plasmafokusierende Lichtquelle mit Verbesserter Leistungspulsanordnung

EP1232517 Art A1 21. August 2002

Anmelder: Cymer, Inc., Birx, Deborah E.F. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1232517
Aktenzeichen: EP00976672
Anmeldetag: 26. Oktober 2000
Veröffentlichung: 21. August 2002
Rechtsraum: EP
IPC: H01J35/20H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Cymer, Inc.
Birx, Deborah E.F.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von