Vorrichtung und Verfahren zur Verminderung von der Kontamination mit Partikeln auf einem Substrat in einer Prozesseinrichtung
EP1233441
Art A1
21. August 2002
Anmelder: Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. KG, Infineon Technologies AG, MOTOROLA, INC. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1233441
- Aktenzeichen
- EP01103989
- Anmeldetag
- 19. Februar 2001
- Veröffentlichung
- 21. August 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. KG
Infineon Technologies AG
MOTOROLA, INC. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Infineon Technologies
Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.
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🇺🇸
Motorola
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit historischem Sitz in Schaumburg, Illinois. Motorola war ein bedeutender Hersteller von Mobilfunkgeräten, Halbleitern und Kommunikationstechnik, bevor es in mehrere Nachfolgegesellschaften wie Motorola Solutions und Motorola Mobility aufgeteilt wurde.
3.541 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Fischer, Volker
München, Deutschland
242
Patente gesamt
29
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Epping - Hermann - Fischer
Epping - Hermann - Fischer · München